Diese Erfindung ermöglicht die Präparation von Keilförmigen Proben für die TEM mit gewöhnlicher Laborausstattung.
Präparation von TEM Proben und auch für SEM anwendbar
Proben der Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) sollten eine Dicke von wenigen Nanometern aufweisen um vom Elektronenstrahl durchdrungen zu werden. Somit ist eine besondere Vorbereitung der Proben nötig. Schleifmaschinen sind die gebräuchlichsten Maschinen zur regelmäßigen Vorbereitung von TEM Proben. Allerdings sind sie in ihrem Nutzen zum Erstellen von Proben mit konkaven Oberflächen und kleinen, begrenzten Probenfläche eingeschränkt. Im Falle von inhomogenem Material, bei dem korrekte Ort der zu untersuchenden Probe schwer zu ermitteln ist, stellt dies einen Nachteil dar. Es ist also wünschenswerter, einen größeren Probenbereich zu präparieren, wie es mit keilförmigen Proben der Fall ist. Um Keilförmige Proben vorzubereiten sind separate (teure) Schleif- und Poliermaschinen nötig.
Es war somit Ziel, eine TEM Präparationsmethode zu entwickeln, welche bekannte Vorbereitungsschritte mit einem Gerät nutzt, welches in nahezu allen Laboren vorhanden ist, in manchen Fällen sogar ohne den Bedarf von weiterem Ionenstrahlätzen und verhindert damit die Bildung von Artefakten innerhalb der Probe. Unser zusätzliches Präparationswerkzeug ermöglicht jetzt solche Proben aus unterschiedlichen Grundmaterialien. Die Drehbewegung des Schleifers wird jetzt in translatorische Bewegung übersetzt. Diese Vor- und Rückwärtsbewegung ist essentiell um die Bildung von Rillen zu verhindern und ein uniformes und ebenes Entfernen des Grundmaterials sicherzustellen.
Ina Krüger
Technologietransfermanagerin
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Prototyp in Einsatzumgebung
erteilt: DE, US
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