Methode und Gerät für eine zeitaufgelöste Interferometrie-Messung
Patent 17003/TUB

Diese Erfindung ermöglicht die Betrachtung dynamischer Prozesse im Nanometermaßstab mittels TEM.

Vorteile
  1. Zeitauflösungen im Picosekunden-Bereich im TEM möglich
  2. Dynamische Objekte und Vorgänge sind untersuchbar
  3. Geringer technischer Aufwand
Anwendungsmöglichkeiten

Untersuchung dynamischer Prozesse in Halbleiterstrukturen (Schaltvorgänge von Transistoren in Computerships) und Nanostrukturen (2D-Materialien, Nanotubes, Nanowires)

Hintergrund

Zur Untersuchung von Materialien im Nanometerbereich (Halbleiterdevices, Prozessoren, funktionale Materialien) wird heute bevorzugt auf die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) zurückgegriffen. Die Elektronenholographie, als Erweiterung, ermöglicht die Messung elektronischer und magnetischer Felder mit der gleichen Ortsauflösung. Hierfür wird das Interferenzmuster zweier überlagerter Elektronenstrahlen über eine gegebene Belichtungszeit aufgenommen und ausgewertet. Im TEM ist es technisch sehr aufwändig Aufnahmezeiten im Millisekunden Bereich zu unterschreiten und somit dynamische Prozesse zu untersuchen.

Technische Beschreibung

Die hier vorgestellte Erfindung beschreibt, wie mit minimalem technischen Aufwand die Belichtungszeit nahezu jedes TEMs maßgeblich verkürzt werden kann. Hierfür wird innerhalb der Belichtungszeit das Interferenzmuster zeitweise bewusst gestört und für einen Bruchteil der Belichtungszeit ungestört belassen. Das gesamte gemessene Interferenzmuster wird holographisch rekonstruiert, wobei lediglich die Informationen aus dem ungestörten Zeitbereich herausgefiltert werden. Dieser ist viel kürzer als die Belichtungszeit und ermöglicht damit Zeitauflösungen im Nano- und Picosekundenbreich bei Ortsauflösungen im Nanometerbereich.

Kontaktieren Sie uns

Ina Krüger

Lizenzmanagerin

+49 (0)30 314-75916
ina.krueger@tu-berlin.de

Technischer Reifegrad
TRL 4

Kleinserien-Prototyp

Schutzrechte

in Anmeldung: EP, PCT, TW

Patentinhaber

Technische Universität Berlin

Möglichkeiten der Zusammenarbeit
  • F&E Kooperation
  • Patentkauf
  • Lizenzierung