Ortsaufgelöste Messung dynamischer Auswirkungen auf elektromagnetische Potentialänderungen durch zeitaufgelöste Elektronenholographie
Patent 18008/TUB

Die Erfindung ermöglicht die simultane orts- und zeitaufgelöste Messung elektronischer und elektromagnetischer Prozesse im TEM

Vorteile
  1. Ortsaufgelöste Messung elektronischer Eigenschaften möglich
  2. Untersuchung dynamischer Objekte und Prozesse möglich
  3. Geringer technischer Aufwand
Anwendungsmöglichkeiten

Untersuchung dynamischer Prozesse in Halbleiterstrukturen (Schaltvorgänge von Transistoren in Computerchips), Untersuchung von Nanostrukturen (2D-Materialien, Nanotubes, Nanowires)

Hintergrund

Zur Untersuchung von Materialien und elektronischen Bauteilen im Nanometerbereich, wie sie in Halbleitertechnologien vorkommen, wird bevorzugt auf die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) zurückgegriffen. Die Elektronenholographie stellt eine Erweiterung davon dar, die eine Messung elektronischer und magnetischer Feldstärken mit derselben Ortsauflösung im TEM zu ermöglichen. Gängigen elektronischen Messverfahren, wie der Oszillographie, fehlt diese Möglichkeit zur Ortsauflösung, da sie nur abgeschlossene elektronische Systeme untersucht.

Technische Beschreibung

Das hier vorgestellte Verfahren ermöglicht die Messung elektronischer Prozesse mit hoher Ortsauflösung. Durch die Kombination einer zeitaufgelösten elektronen-holographischen Auswertung der Phase können Rückschlüsse auf das dynamische Verhalten von Nanobauteilen und deren Ursachen, wie beispielsweise vorliegende Kapazitäten, getroffen werden. Eventuell auftretende Randeffekte, wie Oberflächen- oder Grenzflächeneffekte können durch die ortsabhängige Messwertbildung simultan untersucht werden.

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Ina Krüger

Lizenzmanagerin

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ina.krueger@tu-berlin.de

Technischer Reifegrad
TRL 4

Kleinserien-Prototyp

Schutzrechte

in Anmeldung: EP, PCT

Patentinhaber

Technische Universität Berlin

Möglichkeiten der Zusammenarbeit
  • F&E Kooperation
  • Patentkauf
  • Lizenzierung