Positionierung von Nanostrukturen
Patent 10094/TUB

Mit dieser Methode können mittels Herstellung von Schichten mit lokal angeordneten Nanostrukturen, Licht emittierende Vorrichtungen ebenso wie Einzelphotonemitter aufgebaut werden, zudem wird Quantenkryptographie und -kommunikation ermöglicht.

Vorteile
  1. Keine Defekte in unmittelbarer Nähe der Nanostrukturen
  2. Verwendung herkömmlicher Strukturierungsmethoden
  3. Elektrische Adressierung einzelner Nanostrukturen
  4. Schaffung von Nanostrukturen auch auf unstrukturierten Oberflächen
  5. Kompatibel mit vorhandenen Geräten
Anwendungsmöglichkeiten

Mit dieser Methode können Licht emittierende Vorrichtungen ebenso wie Einzelphotonenemitter aufgebaut werden. Es ermöglicht auch Quantenkryptographie und -kommunikation.

Hintergrund

Die Vorstrukturierung einer Oberfläche, um lokal angeordnete Nanostrukturen zu erhalten, wird üblicherweise durch Verwendung komplexer Strukturierungstechniken wie Elektronenstrahllithographie, fokussiertem Ionenstrahlätzen oder Ionenimplantation erreicht. Solche Techniken können jedoch Kristallschäden und Defekte verursachen, wodurch Qualität und Leistung der nanostrukturierten Elemente verringert werden. Ein weiterer Nachteil besteht darin, dass diese Techniken nur eine Nahwirkung haben und somit nicht für eine schichtweise Verarbeitung geeignet sind.

Technische Beschreibung

Durch Wissenschaftler der TU Berlin wurde nun ein Verfahren entwickelt, welches auch die Herstellung von Schichten mit lokal angeordneten Nanostrukturen ermöglicht. Dazu wird eine verdeckte und selektiv modifizierte Unterschicht verwendet, in der das Wachstum von Nanostrukturen auf der Oberfläche mittels lateral inhomogener Spannungsverteilung gesteuert wird. Für die Strukturierung werden dabei Standard-Lithographie-, Ätz- oder auch Oxidationstechniken genutzt.

Kontaktieren Sie uns

Ina Krüger

Lizenzmanagerin

+49 (0)30 314-75916
ina.krueger@tu-berlin.de

Technischer Reifegrad
TRL 3

Angewandte Forschung

Schutzrechte

in Anmeldung: EP
erteilt: US

Patentinhaber

Technische Universität Berlin

Möglichkeiten der Zusammenarbeit
  • F&E Kooperation
  • Patentkauf
  • Lizenzierung